Особливості технології формування металічних контактів до дискретних ІЧ та ТГц приймачів випромінювання на основі епітаксійних шарів CdHgTe
DOI:
https://doi.org/10.15407/dopovidi2019.09.034Ключові слова:
ІЧ та ТГц детектор, багатошаровий контакт, кадмій—ртуть—телурАнотація
Наведено технологічні особливості формування двошарових металічних контактів до дискретних приймачів інфрачервоного та терагерцового діапазонів спектра, виготовлених на основі епітаксійних шарів CdHgTe, вирощених на підкладках CdZnTe методом рідкофазної епітаксії. Знайдено оптимальну комбінацію металів (адгезивний шар — струмопровідний шар), які створюють омічний контакт до p- та n-областей CdHgTe в процесі виготовлення дискретних детекторів за планарною технологією. Виміряні вольт-амперні характеристики контактів Mo—Au і Mo—In до епітаксійних шарів р-CdHgTe демонструють лінійний характер як при кімнатній температурі, так і при Т = 80 К.
Завантаження
Посилання
Kinch, M. A. (2014). State-of-the-Art Infrared Detector Technology. Bellingham: SPIE Press. doi: https://doi.org/10.1117/3.1002766
Sizov, F. F. (2008). Photoelectronics for imaging systems. Kyiv: Akademperiodyka (in Russian).
Antoni, Rogalski. (2019). Infrared and Terahertz Detectors. CRC Press, Taylor & Francis Group. doi: https://doi.org/10.1201/b21951
MCT’s Advantages as an Infrared Imaging Material. http://www.leonardodrs.com/media/4279/201306_advantages_of_mct.pdf
Sizov, F. (2018). Terahertz detectors: State of the art. Semicon. Sci. Technol., 33, 123001 (26 рр.). doi: https://doi.org/10.1088/1361-6641/aae473
Sizov, F., Zabudsky, V., Dvoretskii, S., Petryakov, V., Golenkov, O., Andreyeva, K. & Tsybrii, Z. (2015). Twocolor detector: Mercury-Cadmium-Telluride as a terahertz and infrared detector. Appl. Phys. Lett., 106, pp. 082104-1-182104-4. doi: https://doi.org/10.1063/1.4913590
Dan, Liu, Chun, Lin, Songmin, Zhou & Xiaoning, Hu. (2016). Ohmic Contact of Au/Mo on Hg1-xCdxTe. J. Electr. Mater., 45, No. 6, pp. 2802-2807. doi: https://doi.org/10.1007/s11664-016-4375-y
Capper, Peter & Garland, James. (2011). Mercury Cadmium Telluride: Growth, Properties and Applications. Wiley and Sons. doi: https://doi.org/10.1002/9780470669464
Stafeev, V. I. (2009). Structure and Properties of CdxHg1–xTe-Metal Contacts. FTP., 43, No. 5, pp. 636-639 (in Russian).
https://ctherm.com/resources/blog/summary_of_coefficient_of_linear_expansion_cte/
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2024 Доповіді Національної академії наук України
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
